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간행물
- 대한기계학회론문집. TRANSACTIONS OF THE KOREAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS. A. A(2)
- 한국정밀공학회지(2)
- INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING(1)
- JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY(1)
- 대한기계학회론문집. TRANSACTIONS OF THE KOREAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS. B. B(1)
- 윤활학회지(1)
- 청정기술(1)
- 한국통신학회논문지. THE JOURNAL OF KOREA INFORMATION AND COMMUNICATIONS SOCIETY. 무선통신(1)
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환경 조건에 따른 하드디스크의 Stiction 및 AE 특성
박용식, 성인하, 김대은 한국윤활학회 윤활학회지 9 Pages
한국윤활학회 윤활학회지 2001, Vol.17 No.1 1-9 (9 pages)
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The Annealing Effect of Diamond-like Carbon Films for RF MEMS Switch
황현석, 최원석, 차재상, Hwang. Hyun-Suk, Choi. Won-Seok, Cha. Jae-Sang 한국통신학회 한국통신학회논문지. The journal of Korea Information and Communications Society. 무선통신 6 Pages
한국통신학회 한국통신학회논문지. The journal of Korea Information and Communications Society. 무선통신 2010, Vol.35 1091-1096 (6 pages)
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초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼의 건식 식각에서 알콜 첨가제의 효과
김도훈, 장명재, 임권택, Kim. Do-Hoon, Jang. Myoung-Jae, Lim. Kwon-Taek 한국청정기술학회 청정기술 7 Pages
한국청정기술학회 청정기술 2012, Vol.18 No.3 280-286 (7 pages)
초임계 이산화탄소를 이용하여 희생 $SiO_2$층에 대한 건식 식각 실험을 진행하였다. HF/pyridine (HF/py) 식각액과 알콜 첨가제를 사용하여 이중 챔버 시스템 방식으로 boron phosphor silica glass (BPSG), tetraethyl orthosilicate (TEOS), thermal $SiO_2$와 Si-nitride (SiN)의 박막 층에 대한 식각 성능을 조사하였다. 메탄올의 첨가에 의하여 실리카 희생막에 대한 HF/py의 식각률이 높아지는 것을 확인할 수 있었다. BPSG를 제외하고는 메탄올이 가장 높은 식각률을 보여줬지만, BPSG의 SiN에 대한 식각 선택비는 이소프로판올이... -
FDTS와 OTS SAM의 어닐링 온도에 따른 트라이볼로지 특성
양지철, 김대은 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 8 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2003, Vol.20 No.1 240-247 (8 pages)
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표면 구조 변화에 따른 응착과 마찰 특성에 관한 연구
양지철, 김대은, Yang. Ji-Cheol, Kim. Dae-Eun 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 8 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2002, Vol.19 No.7 51-58 (8 pages)
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Effect of Film Thickness on the Tribological Characteristics of Zdol Lubricant on Silicon Surface
Kim. Yong-Sik, Yang. Ji-Chul, Kim. Dae-Eun 한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 6 Pages
한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 2004, Vol.5 No.1 13-18 (6 pages)
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하드디스크 드라이브의 슬라이더 구동정지 기간 및 검색조건 변화에 따른 입자 발생 경향
박희성, 황정호, 좌성훈, Park. Hee-Sung, Hwang. Jung-Ho, Choa. Sung-Hoon 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B 6 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B 2000, Vol.24 No.8 1056-1061 (6 pages)
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기구학적 조인트에서 마찰력을 고려한 구속 다물체계의 역동역학 해석
박정훈, 유홍희, 황요하, 배대성, Park. Jeong-Hun, Yu. Hong-Hui, Hwang. Yo-Ha, Bae. Dae-Seong 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 9 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 2000, Vol.24 No.8 2050-2058 (9 pages)


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