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유도결합 $Cl_2$및 $HBr/Cl_2$ 플라즈마를 이용한 STI용 실리콘 Shallow trench 식각공정에 관한 연구
이주훈, 이영준, 김현수, 이주욱, 이정용, 염근영 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 1997, Vol.6 No.3 267-274 (8 pages)
이용하여 차세대 반도체 집적회로에 사용가능한 STI(Shallow Trench Isolation)구조에서 trench 식각시 trench etch profile 및 격자손상에 영향을 미치는 공정변수의 효과에 대하여 연구하였다. 식각결과 $Cl_2$만을 사용한 경우에는 trench 식각공정 동안 화학적 측면식각의 증가로 인하여 등방성 식각이 얻어지고 이는 유도입력 전력이 증가하고 바이어스 전압이 감소함에 따라 이의 경향이 증가하였다. 측면식각의 정도는 $Cl_2$에 $N_2$ 및 $O_2$의 첨가에 따라 감소하였다. 순수 HBr을 사용한 경우에 있어서는 Br 라디칼이... -
Trench 식각각도에 따른 Super Juction MOSFET의 래치 업 특성에 관한 연구
정헌석, 강이구, Chung. Hun Suk, Kang. Ey Goo 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2014, Vol.27 No.9 551-554 (4 pages)
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Enhancement of On-Resistance Characteristics Using Charge Balance Analysis Modulation in a Trench Filling Super Junction MOSFET
Geum. Jongmin, Jung. Eun Sik, Kim. Yong Tae, Kang. Ey Goo, Sung. Man Young 대한전기학회 Journal of electrical engineering & technology 5 Pages
대한전기학회 Journal of electrical engineering & technology 2014, Vol.9 No.3 843-847 (5 pages)
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Elastic Open Activator를 이용한 II급 부정 교합의 치료효과
정규림(Kyu-Rhim Chung), 박영국(Young-Guk Park), 이현경(Hyun-Kyung Lee) 대한치과교정학회 The Korean Journal of Orthodontics 13 Pages
대한치과교정학회 The Korean Journal of Orthodontics 1995, 제 25권 제 5호 1 511-523 (13 pages)
Elastic Open Activator(E.O.A)는 myodynamic activator의` 일종으로서 장치의 아크릴 부위의 대폭적인 크기 감소로 환자가 거부감 없이 장시간 착용할 수 있는 장점을 가지며, 구강내에서 매우 느슨하게 장착되므로써 보다 적극적인 근기능 자극 효과를 나타내고, 구강 내외의 제 기능시 발휘되는 생리적인 힘을 효율적으로 치조골 및 악관절부에 전달시킨다. 특히 기능모체(functional matrix)를 효과적으로 차단하는 동시에 능동적으로 자극함으로써 많은 부정교합 증례에서 비발치에 의한 교정치료의 성공률을 높이는 것으로... -
한국인 정상교합자의 하악치열궁 형태에 관한 연구
남종현(Jong-Hyun Nam), 이기수(Ki-Soo Lee) 대한치과교정학회 The Korean Journal of Orthodontics 12 Pages
대한치과교정학회 The Korean Journal of Orthodontics 1996, 제 26권 제 5호 6 535-546 (12 pages)
이 연구는 한국인 하악치열궁 형태를 분류하고, 교두정에서 브라켓 높이의 협면점까지 거리를 계측하여 이상적인 호선 제작에 도움을 얻기 위하여 시행 되었다. 13세에서 25세 사이의 정상적인 교합자 159명의 석고모형을 대상으로 순측 및 협측 교두정을 지나는 하악치열궁선에서 견치간, 제1대구치간 및 제2대구치간 폭경과 이들의 고경을 계측한 다음, 유클리안 거리를 이용한 평균군집분석을 시행하여 치열궁형태를 5가지로 분류하고, 각각의 6차 다항식과 결정계수를 구하였으며, 교두정에서 브라켓 높이의 협면점까지의 거리를... -
전하 불균형 효과를 고려한 Super Junction MOSFET 개발에 관한 연구
강이구, Kang. Ey Goo 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2014, Vol.27 No.10 613-617 (5 pages)
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Super Juction MOSFET의 공정 설계 최적화에 관한 연구
강이구, Kang. Ey Goo 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2014, Vol.27 No.8 501-504 (4 pages)
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P-pillar 식각 각도에 따른 Super Junction MOSFET의 전기적 특성 분석에 관한 연구
강이구, Kang. Ey Goo 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2014, Vol.27 No.8 497-500 (4 pages)
