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원거리 플라즈마 ALD법으로 증착한 ZrN박막의 특성 연구
조승찬, 황윤철, 이근우, 한세진, 김인배, 전형탁, 김양도, Cho. Seung Chan, Hwang. Yoon Cheol, Lee. Keun Woo, Han. Se Jin, Kim. In Bae, Jeon. Hyeongtag, Kim. Yangdo 한국재료학회 한국재료학회지 4 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2005, Vol.15 No.9 594-597 (4 pages)
원거리 플라즈마 ALD법으로 증착한 ZrN박막의 특성 연구
조승찬, 황윤철, 이근우, 한세진, 김인배, 전형탁, 김양도, Cho. Seung Chan, Hwang. Yoon Cheol, Lee. Keun Woo, Han. Se Jin, Kim. In Bae, Jeon. Hyeongtag, Kim. Yangdo 한국재료학회 한국재료학회지 4 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2005, Vol.15 No.9 594-597 (4 pages)