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소형 Magnetron sputtering 방법에 의한 썬글라스 렌즈용 Ti 박막의 특성연구
박문찬, 정부영, 이종근, 주경복, 이화자, Park. Moon-Chan, Jung. Boo-Young, Lee. Jong-Geun, Joo. Kyung-Bok, Lee. Wha-Ja 한국안광학회 한국안광학회지 5 Pages
한국안광학회 한국안광학회지 2008, Vol.13 No.1 59-63 (5 pages)
목적: 소형 magnetron sputtering 장치를 이용하여 CR-39 안경렌즈와 glass위에 코팅한 썬글라스 렌즈용 Ti박막의 광학적 특성에 관한 연구이다. 방법: SEM 단면 사진으로 Ti 코팅 박막의 두께를 측정하였고, spectrophotometer를 이용하여 Ti 박막의 투과율과 반사율을 측정하였다. Variable angle spectroscopic ellipsometry (VASE)를 이용하여 파장에 따라 Ti 박막의 굴절률과 소멸계수를 구하였다. 결과: 두께가 60 nm, 120 nm, 140 nm인 시료에 대한 투과율은 가시광선 영역인 파장 400 nm에서 750 nm까지 변화가 크지 않았으며... -
R.F. Magnetron Sputtering 법을 이용한 SnO2 박막 센서의 제조 및 알콜 감도 특성
박상현, 강주현, 유광수, Park. Sang-Hyoun, Kang. Ju-Hyun, Yoo. Kwang-Soo 한국센서학회 센서학회지 6 Pages
한국센서학회 센서학회지 2005, Vol.14 No.2 63-68 (6 pages)
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RF Magnetron Sputtering 법으로 제조된 $LaFeO_3$ 박막의 가스감지 특성
장재영, 마대영, 박기철, 김정규, Jang. Jae-Young, Ma. Dae-Young, Park. Ki-Cheol, Kim. Jeong-Gyoo 한국센서학회 센서학회지 8 Pages
한국센서학회 센서학회지 2000, Vol.9 No.5 357-364 (8 pages)
R.F. magnetron sputtering에 의해 $Al_2O_3$ 기판상에 $LaFeO_3$ 박막을 증착하고 막의 구조적, 전기적 및 가스감도 특성을 조사하였다. $600^{circ}C$ 이상에서 열처리 된 박막에서 (121) 방향의 주결정상을 확인할 수 있었고 가스감지특성에서 박막은 p형 반도체의 특성을 보였다. 박막의 두께 및 열처리 온도의 변화에 대하여, 감도는 박막의 두께변화에는 둔감하였지만 열처리온도에는 큰 변화를 보였다. $800^{circ}C$에서 열처리된 두께 400 nm의 박막에서 동작온도가 $300^{circ}C$일때 5000 ppm의 CO 가스에 대해서는 약 400%,... -
R.F. magnetron sputtering 법으로 제작한 ITO 박막의 특성
정운조, 박계춘, 유용택, Jeong. W.J., Park. G.C., Yoo. Y.T. 한국센서학회 센서학회지 7 Pages
한국센서학회 센서학회지 1995, Vol.4 No.2 51-57 (7 pages)
Indium Tin Oxide (ITO) 박막을 $In_{2}O_{3}$(90mol%) : $SnO_{2}$(10mo1%)의 조성비를 가지는 타겟을 사하여 rf 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작하였다. 기판온도 100, 200, 300, 400, $500^{circ}C$ 와 열처리 온도 300, 400, $500^{circ}C$로 변화시켜 주면서 제작하였으며 X-ray 회절 패턴, 전기적 특성, 투과도, SEM 사진 등으로 분석하였다. 그 결과 기판온도를 증가시킬수록 결정성, 전기 전도도와 투과도가 향상되었다. 그러나 공기 중에서 열처리 온도를 증가함에 따라 도리어 전도도는 감소하였다. 기판온도 $300^{circ}C$... -
R.F. Magnetron Sputtering으로 다양한 Interlayer 층위에 형성시킨 PZT 박막의 미세구조와 강유전 특성
박철호, 최덕영, 손영국, Park. Chul-Ho, Choi. Duck-Young, Son. Young-Guk 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 8 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2002, Vol.39 No.8 742-749 (8 pages)
R. F. magnetron sputtering법을 이용하여 Pt/Ti/$SiO_2$/Si 기판 위에 $Pb_{1.1}Zr_{0.53}Ti_{0.47}O_3$ target을 사용하여 박막을 제조하였다. Interlayer(PbO, $TiO_2$, PbO/$TiO_2$)층을 삽입함으로써 박막의 결정성을 향상시켰고, 박막의 기판온도도 상당히 낮출 수 있었다. 순수한 PZT에 비하여 interlayer를 삽입한 PZT는 높은 유전상수과 낮은 유전손실 및 높은 누설전류를 가지는 우수한 전기적 특성을 나타내었다. 이러한 PZT 박막과 interlayer 층은 증착온도에서 서로 반응하여 하나의 고용체를 이루지 않고, 각각 독립적인... -
R.F. Magnetron Sputtering법을 이용한 ITO 박막 오존 가스센서의 제조 및 특성
권정범, 정경근, 이동수, 하조웅, 유광수, Kwon. Jung-Bum, Jung. Kyoung-Keun, Lee. Dong-Su, Ha. Jo-Woong, Yoo. Kwang-Soo 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2002, Vol.39 No.9 840-845 (6 pages)
오존 가스센서는 저가이고 휴대 및 사용이 간편하며 감도가 높고 우수한 선택성을 지닌 반도체식 가스센서가 대안으로 부각되고 있다. 본 연구에서는 R.F. magnetron sputtering법을 이용하여 ITO($In_2O_3 95%,;SnO_2$ 5%) 박막을 알루미나 기판위에 증착시켰다. 증착시 기판온도는 300$^{circ}C$와 500$^{circ}C$였고, 시편의 일부를 공기중 500$^{circ}C$에서 4시간 동안 열처리하였다. ITO 가스 감지막은 열처리 전${cdot}$후 모두 결정을 형성하였다. 오존 가스에 대한 감도측정 결과, 300$^{circ}C$에서 증착한 다음 열처리한... -
RF magnetron sputtering으로 제조된 강 유전체 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 열처리 온도에 따른 특성 연구
박상식, 양철훈, 윤순길, 안준형, 김호기 한국세라믹학회 요업학회지 7 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1997, Vol.34 No.2 202-208 (7 pages)
Bi층 SrBi2Ta2O9(SBT)박막을 상온에서 rf magnetron sputtering에 의해 Pt/Ti/SiO2/Si기판위에 증착한 다음 산소 분위기 하에서 1시간동안 75$0^{circ}C$, 80$0^{circ}C$, 85$0^{circ}C$로 열처리하였다. 타겟은 박막내의 Bi와 Sr의 부족을 보상하기 위해 20mole%의 Bi2O3와 30mole%의 SrCO3를 과잉으로 넣어 사용하였으며, 80$0^{circ}C$로 열처리한 박막의 조성은 Sr0.7Bi2.0Ta2.0O9.0이었다. 200nm의 두께를 갖는 이 SBT박막은 치밀한 미세구조와, 1MHz의 주파수에서 210의 유전상수, 0.05의 유전손실을 나타내었고, 또한 100 kMz에서... -
Role of Magnetic Field Configuration in a Performance of Extended Magnetron Sputtering System with a Cylindrical Cathode
Chun. Hui-Gon, Sochugov. Nikolay S., You. Yong-Zoo, Soloviv. Andrew A., Zakharov. Alexander N. 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체장비학회지 5 Pages
한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체장비학회지 2003, Vol.2 No.3 19-23 (5 pages)