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Fabrication and Electric Properties of $ extrm{LiNbO}_3$ Thin Film by an Rf-magnetron Sputtering Technique Li-Nb-K-O Ceramic Target
박성근, 백민수, 배승춘, 권성열, 김광태, 김기완, Park. Seong-Geun, Baek. Min-Su, Bae. Seung-Chun, Gwon. Seong-Yeol, Kim. Gwang-Tae, Kim. Gi-Wan 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1999, Vol.9 No.2 163-167 (5 pages)
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RF-magnetron Sputtering Process를 이용한 a-축 우선 배향된 PLZT(x/0/100)박막의 제조
박명식, 강승국, 노광수, 김동범, 조상, Park. Myeong-Sik, Gang. Seung-Guk, No. Gwang-Su, Kim. Dong-Beom, Jo. Sang 한국재료학회 한국재료학회지 7 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1997, Vol.7 No.6 522-528 (7 pages)
RF-magnetron Sputtering Process를 이용하여 Pt/Ti/Si(100)기판위에 lanthanum-modified lead titanate 박막을 제작하였다. 기판온도와 증착시간이 증가함에 따라 증착율은 감소하였다. 기판온도가 증가함에 따라 fine grain들은 large grain으로 변화하였다. Perovskite구조는 기판온도 54$0^{circ}C$, gas pressure 30mtorr에서 나타나기 시작하였다. 본 실험에서 perovskite 박막제작에 대한 조건은 기판온도 58$0^{circ}C$, gas pressure 30mtorr였다. Pt/Ti/Si(100) 우선 배향된 박막을 얻었다. La양이 증가함에 따라 유전율,... -
$PLT(Pb_{1-x}La_{x})Ti_{1-x/4}O_{3}$ 타켓의 제조 및 rf-magnetron sputtering법으로 박막 형성
정재문, 조성현, 박성근, 최시영, 김기완, Jung. J.M., Cho. S.H., Park. S.G., Choi. S.Y., Kim. K.W. 한국센서학회 센서학회지 7 Pages
한국센서학회 센서학회지 1997, Vol.6 No.1 56-62 (7 pages)
고주파 마그네트론 스펏터링법을 이용하여 La 성분비에 따른 PLT 박막을 제조하였다. 낮은 분위기압력하에서 PLT 박막은 높은 C 축 배향성을 보였다. PLT 박막의 C축 배향성은 분위기 압력과 La 성분비가 증가할수록 XRD 와 SEM 분석에서 감소함을 확인하였다. La의 성분비가 증가할수록 PLT 박막의 비유전율은 증가하였으며 잔류분극은 감소하였다. -
RF-magnetron Sputtering법에 의해 제조된 SnO2 박막 특성에 대한 열처리 분위기 효과
최광표, 박용주, 류현욱, 노효섭, 권용, 박진성, Choi. Gwang-Pyo, Park. Yong-Ju, Ryu. Hyun-Wook, Noh. Whyo-Sup, Kwon. Yong, Park. Jin-Seong 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 5 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2004, Vol.41 No.1 36-40 (5 pages)
RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 $SnO_2$ 박막을 증착하여 열처리 분위기에 따른 미세구조 및 표면상태 변화를 살펴보고 그에 따른 전기적 특성의 변화를 고찰하였다. 후속 열처리는 $500^{circ}C$에서 공기와 질소 분위기하에서 수행되었으며, 미세구조 및 표면상태를 살펴보기 위하여 SEM, AFM과 XPS 측정을 실시하였다. 공기중에서 열처리된 경우에는 증착 초기상태와 유의차가 크지 않은 반면 질소 분위기에서 열처리한 후에는 미세구조와 표면의 화학적 상태의 변화가 크게 발생하였다. 이러한 결과는 상대적으로 낮은 산소... -
RF-Magnetron Sputtering에 의한 Bi-Sr-Ca-Cu-O 초전도 박막의 제조
홍철민, 박현수 한국세라믹학회 요업학회지 7 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1994, Vol.31 No.2 227-233 (7 pages)
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RF-magnetron sputtering을 이용한 TiIZO 기반의 산화물 반도체에 대한 연구
우상현, 임유성, 이문석, Woo. Sanghyun, Lim. Yooseong, Yi. Moonsuk 대한전자공학회 Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea 7 Pages
대한전자공학회 Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea 2013, Vol.50 No.7 115-121 (7 pages)
본 연구에서는 TiInZnO(TiIZO)를 채널층으로 하는 thin film transistors(TFTs)를 제작하였다. TiIZO 층은 InZnO(IZO)와 Ti target을 이용하여 RF-magnetron co-sputtering system 방식으로 상온에서 증착하였으며, 어떠한 열처리도 하지 않았다. Ti의 첨가가 어떠한 영항을 주는지 연구하기 위해 X-ray diffraction(XRD), X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) 분석을 시행하였으며, 전기적인 특성을 측정하였다. Ti의 첨가는 Ti target의 rf power 변화에 따라 달리하였다. Ti의 첨가가 전류점멸비에 큰 영향을 주는 것을 확인하였고,...