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플라즈마 중합법에 의한 고분자박막의 작성
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저자명
이덕출
간행물명
전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers
권/호정보
1983년|32권 2호|pp.80-85 (6 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

본고의 내용은 다음과 같다. 1. 플라즈마 중합에 이용되는 방전 2. 플라즈마 중합반응 3. 플라즈마 중합막 성장기구 4. 플라즈마 중합법의 응용