- Local Thermal Equilibrium 모델에 의한 이차이온 질량분석의 정량화 방법
- ㆍ 저자명
- 곽병화,권오준,Gwak. Byeong-Hwa,Gwon. O-Jun
- ㆍ 간행물명
- 전자통신
- ㆍ 권/호정보
- 1988년|10권 2호|pp.63-69 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전자통신연구원
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry) 분석 데이터의 정량화 방법으로 이온주입에 의한 실험적 접근법과 LTE(Local Thermal Equilibrium) 모델을 사용한 준이론적 접근법 2가지가 주로 논의되고 있다. 본 고에서는 LTE 모델을 사용, SIMS data를 정량화하는 방법에 대하여 기술하였으며 아울러 BASIC language로 된 간단한 LTE 프로그램을 제시하였다.