- MIS소자의 절연박막
- ㆍ 저자명
- 이경수,김천수,남기수,Lee. Gyeong-Su,Kim. Cheon-Su,Nam. Gi-Su
- ㆍ 간행물명
- 전자통신
- ㆍ 권/호정보
- 1988년|10권 2호|pp.70-88 (19 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전자통신연구원
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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반도체 소자가 계속 축소되어 ULSI 시대를 맞이함에 따라 얇은 절연막의 필요성이 대두되었고, 따라서 고신뢰도를 갖는 절연박막 개발과 그 절연막에 대한 평가 기술개발에 많은 관심이 집중되었다. 본고에서는 최근 연구되고 있는 절연박막의 종류와 그 특성, 절연막 평가 방법에 대해 고찰하였다.