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펄스 레이저를 이용한 고온 초전도박막 증착의 레이저-타깃 반응 기구
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  • 펄스 레이저를 이용한 고온 초전도박막 증착의 레이저-타깃 반응 기구
저자명
서정대,강광용,성건용,Seo. Jeong-Dae,Gang. Gwang-Yong,Seong. Geon-Yong
간행물명
전자통신동향분석
권/호정보
1992년|7권 3호|pp.84-95 (12 pages)
발행정보
한국전자통신연구원
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

본 고에서는 $YBa_2Cu_3O_7_x$ 고온초전도 물질의 박막제조에 있어서 현재 가장 각광을 받고 있는 펄스 레이저 증착공정의 원리, 특징등을 살펴보았다. 특히, 이 공정에서 입사 레이저와 고체 타깃간의 상호작용으로 인한 플룸의 발생, 물질의 방출, 기판상의 증착 등과 관련된 반응기구를 중점적으로 기술하였다.