- Silicon-no-insulatir 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계
- ㆍ 저자명
- 양의혁,양상식
- ㆍ 간행물명
- 電氣學會論文誌
- ㆍ 권/호정보
- 1994년|43권 6호|pp.1036-1038 (3 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
In this paper, a silicon piezoresistive accelerometer is designed and fabricated using a silicon direct bonded wafer. The accelerometer consists of a seismic mass and four cantilevers, and is fabricated mainly by the anisotropic etching method using EPW as an etchant. The measured sensitivity and the resonant frequency are 0.02 mV/V.g and 3.4 kHz, respectively. The nonlinearity is less than $pm$0.3% of the full scale of the output.