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티타늄 및 구리증착이 알루미나 곡강도에 미치는 영향
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  • 티타늄 및 구리증착이 알루미나 곡강도에 미치는 영향
저자명
황하룡,이임렬
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
1994년|27권 1호|pp.29-35 (7 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The effects of coating of 3$mu extrm{m}$ thickness on the mechanical property of alumina after heat treatment at 100$0^{circ}C$ for 30minutes under $10^{-6}$torr vacuum was quantified in terms of modulus of rupture(MOR) using Weibull plot. While the copper coating did not change MOR of alumina due to the nonwetting behavior of Cu on $Al_2O_3$, the reactive titanium metal coating caused a noticeable 29% reduction in averaged MOr strength. This was related with the combined effects of microcracks in coating formed during heat treatment and good bonding character between Ti and $Al_2O_3$. The effect of cosputtering of Ti and Cu, bilayer coatings of Cu/Ti and Ti/Cu were also investigated. It was found that Ti, cosputtered, Cu/ti and Ti/Cu coatings reduced MOR strength of alumina in the order listed. This was correlated with the amount of Ti at coating/alumina inter-face associated with a coated layer or segregation of Ti during heat treatment.