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EFFECTS OF PbO BUFFER LAYER ON MICROSTRUCURAL EVOLUTION OF PbTi$O_3$ THIN FILMS DEPOSITED BY MULTIPLE CATHODE SPUTTERING
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  • EFFECTS OF PbO BUFFER LAYER ON MICROSTRUCURAL EVOLUTION OF PbTi$O_3$ THIN FILMS DEPOSITED BY MULTIPLE CATHODE SPUTTERING
저자명
Hong. Suk-Kyoung,Lee. Yong-Eui,shin. Ju-Cheol,Yang. Hong-Geum,kim. Hyeong-Joon
간행물명
Fabrication and Characterization of Advanced Materials
권/호정보
1995년|2권 |pp.993-996 (4 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We investigated crystaographic orientation change and microstructural evolution of perovskite $PbTiO_3$ thin films which were deposited on $(111)Pt/SiO_2/(100)Si sbustrate at $500^{circ}C$ by multiple cathode sputtering. The films depostied without PbO buffer layer had(111) preferred orientation and triangular-shaped grains, whereas the films deposited on PbO buffer layer revealed highly c-axis preferred orientatio normal to the substrated and more densely packed rectangular-shaped grains. It was observed that PbO buffer layer selects the (001) preferred orientation and characteristics microstructure of $PbTiO_3$ thin films in the initial growth stage.