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고진공, 초고진공, 대기 환경에서의 STS 표면의 오염 정량화
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  • 고진공, 초고진공, 대기 환경에서의 STS 표면의 오염 정량화
저자명
서지근,신용현,홍승수,정광화,이상길,이규장
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1995년|4권 3호|pp.238-246 (9 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

대기, 고진공, 초고진공 등 다양한 압력 조건에서 STS 합금 표면의 오염상태를 AES 측정을 통해 살펴보았다. 모든 환경에서 노출 초기에 많은 오염이 이루어지며, 시간이 증가함에 따라 오염 속도는 감소하지만 지속적인 오염이 이루어지는 것을 볼 수 있었다. 오염층의 구조는 표면 위에 산소, 그 위에 Co,그리고 그 위에 탄소가 놓여 있는 층별 구조 형태로 나타났다.