- 평판디스플레이용 패널의 진공도 측정
- ㆍ 저자명
- 조영래,문제도,오재열,정효수
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 1995년|4권 3호|pp.247-252 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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진공측정용 센서의 크기보다 더 작은 미세소자 내부의 진공도를 계산에 의해 간접적으로 구하는 방법을 제시하였다. 평판디스플레이용 진공판넬의 설계에 본 연구의 결과를 적용하는 방법에 대해 연구하였으며, 패널의 진공도는 패널과 배기장치의 형상에 강하게 의존하였다.