- 저압에서의 선형성을 향상시키기 위한 압력센서의 설계
- ㆍ 저자명
- 이보나,이문기,Lee. Bo-Na,Lee. Moon-Key
- ㆍ 간행물명
- 센서학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1996년|5권 2호|pp.1-8 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국센서학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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본 논문에서는 감도를 향상시키고 저압력 범위에서 다이어프램의 휨을 감소시킴으로서 선형성이 향상되도록 한 센터 보스(center boss) 다이어프램 구조를 갖는 압력센서를 설계 하였다. 설계한 센터보스형 압력센서의 최대 휨은 $0.125{mu}m$, 최대 응력은 $2.24{ imes}10^{7};Pa$, 최대 스트레인은 $132;{mu}strain$, 감도는 27.67 mV/V.psi로서 휨은 다이어프램 두께의 약 1/160, 정사각형 구조일때의 1/35로 감소하였고 감도는 정사각형 구조일때보다 19배정도 증가하였다.
In this paper, We have designed silicon pressure sensor with center-bossed diaphragm which improving sensitivity and linearity by reducing diaphragm deflection. Designed center-bossed pressure sensor showed maximum deflection of $0.125{mu}m$, maximum stress of $2.24{ imes}10^7 Pa$ and sensitivity of 27.67 mV/V.psii. As a result, diaphragm deflection was reduced to 1/160 that of diaphragm thickness and 1/35 that of square diaphragm. Also, sensitivity was increased 19 times compared to square diaphragm.