- 수평 구조의 진공 자기 센서의 제작 및 특성
- ㆍ 저자명
- 남명우,홍미란,남태철,Nam. Myung-Woo,Hong. Mee-Ran,Nam. Tae-Chul
- ㆍ 간행물명
- 센서학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1996년|5권 2호|pp.9-14 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국센서학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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N 형의 실리콘 기판위에 수평형의 전계 방출 배열 구조를 갖는 진공 자기 센서를 제작하고 그의 자기적 특성을 측정하였다. 소자는 수평으로 구성된 팁 사이의 간격이 $10;{mu}m$인 100 개의 전계 방출 팁, 게이트 그리고 분리된 양극 구조로 이루어져 있다. 에미터 전극으로부터의 전자 방출 특성은 Fowler-Nordheim 턴널링 이론을 따른다. 제작된 센서는 좋은 직선 특성과 825 %/T 의 높은 감도를 보여주었다.
We have fabricated the vacuum magnetic sensor with a lateral field emitter arrays constructed on n-Si substrate, and investigated its magnetic characteristics. The device consists of 100 field-emitter tips with a $10{mu}m$ pitch, gate, and split-anodes which are laterally structured. The electron-emission characteristics from the emitter followed the Fowler-Nordheim tunnelling theory. The sensor has good linear characteristics and high sensitivity of 825 %/T.