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에어백용 압저항형 외팔보 미소 가속도계의 설계, 제작 및 시험
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  • 에어백용 압저항형 외팔보 미소 가속도계의 설계, 제작 및 시험
저자명
고종수,조영호,곽병만,박관흠,Ko. Ko. Jong-Soo,Cho. Cho. Young-Ho,Kwak. Kwak. Byung-Man,Park. Park. Kwan-Hum
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
권/호정보
1996년|20권 2호|pp.408-413 (6 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A self-diagnostic, air-damped, piezoresitive, cantilever-beam microaccelerometer has been designed, fabricated and tested for applications to automotive electronic airbag systems. A skew-symmetric proof-mass has been designed for self-diagnostic capability and zero transverse sensitivity. Two kinds of multi-step anisotropic etching processes are developed for beam thickness control and fillet-rounding formation, UV-curing paste has been used for sillicon-to-glass bounding. The resonant frequency of 2.07kHz has been measured from the fabricated devices. The sensitivity of 195 $mu{V}$/g is obtained with a nonlinearity of 4% over $pm$50g ranges. Flat amplitude response and frequency-proportional phase response have been obserbed, It is shown that the design and fabricaiton methods developed in the present study yield a simple, practical and effective mean for improving the performance, reliability as well as the reproducibility of the accelerometers.