- 졸-겔법에 의한$ Ta_2$$O_5$ 박막의 전기적 특성
- Electric properties of $ Ta_2$$O_5$ thin films by sol-gel method
- ㆍ 저자명
- 유영각,이준웅
- ㆍ 간행물명
- 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 1997년|10권 1호|pp.61-67 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
