- Fe가 첨가된 반절연성 InP에서 Photoreflectance에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 김인수,이정열,배인호
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 1997년|6권 3호|pp.249-254 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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Fe가 첨가된 반절연성 InP(100)의 특성을 photoreflectance(R) 측정으로 조사하였다. 관측한 PR 신호로부터 300K에서 띠간격 에너지($E_o$)와 넓어지기 변수(broadening parameter:$Gamma$)는 각각 1.336eV 및 11.2meV의 값을 얻었다. 측정온도를 300~80K로 낮춤에 따라 PR 신호는 엑시톤과 2차원의 띠사이 전이가 중첩된 형태(300K)에서 전형적인 엑시톤 에 의한 전이형태(80K)로 변함을 알았다. 또한 Varshni 계수 $alpha=-0.94pm$0.07meV/K, $eta=587pm$35.2K와 Bose-Einstein 계수 aB=33.6$pm$2.02meV, $ heta=165pm$33K의 값을 얻었다. 그리고 등온 및 등시 열처리를 수행한 후 측정 결과, 온도 $300^{circ}C$에서 10~20분 정도 열처리시켰을 때 InP 시료의 결정성이 가장 좋아짐을 정성적으로 알 수 있었다.
We investigated characteristics of Fe-doped semi-insulating InP by means of photoreflectance(PR) measurement. The band gap energy($E_0$) and broadening parameter($Gamma$) from PR signals at 300K are 1.336 eV and 11.2 meV, respectively. As the temperature is decreased from 300 to 80 K, PR signals are varied from an overlapped shape of exciton and 2-dimensional band gap transitions(300 K) to that of exciton transition(80 K). We calculated Varshni coefficient($alpha=0.94pm$0.07 meV/K, $eta=587pm$35.2 K) and Bose-Einstein coefficient ($a_B=33.6{pm}2.02meV$ , $ heta=165pm$33K). After annealing of isothermal and isochronism crystallinity of InP is found to be excellent when annealed at $300^{circ}C$ for 10~20 min, qualitatively.