- SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$ 박막의 배향성장에 미치는 Sr양의 영향
- ㆍ 저자명
- 배철휘,이전국,이시형,정형진
- ㆍ 간행물명
- 요업학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|35권 8호|pp.819-826 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국세라믹학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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SBT thin films were deposited on Pt(111)/Ti/{{{{ { SiO}_{2 } }}/Si(100) substrates using r. f magnetron sputtering and post-annealed at 650-80$0^{circ}C$ In the cases of SBT thin films with nearly 30mol% excess Bi after post-an-nealing Sr deficient SBT thin films(Sr/Ta≒0.45) showed c-axis oriented growth. However SBT thin films which have stoichiometric Sr content showed a-axis oriented growth. In addition the SBT thin films with stoichiometric Sr content had larger remnant polarization and lower phase formation and grain growth tem-perature than the Sr deficient SBT thin films