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$SF_{6+}Ar$혼합기체의 전자수송특성 개선에 관한 연구
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  • $SF_{6+}Ar$혼합기체의 전자수송특성 개선에 관한 연구
저자명
하성철,김상남,유회영,서상현,임상원,전병훈
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
1998년|11권 1호|pp.67-73 (7 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, the electron swarm parameters in the 0.5% and 0.2% SFulcorner+Ar mixtures are measured by time of flight method over the E/N(Td) range from 30 to 300(Td). The measurements have been carried out by the double shutter drift tube with variable drift distance from the cathod. A two-term approximation of the boltzmann equation analysis and Monte Carlo simulation have been also used to study electron transport coefficients. We have calculated W, $ND_L,;ND_T,;alpha,;eta,;alpha-eta$, and the limiting breakdown electric field to gas mixtures ratio in pure $SF_6$+Ar mixtures. The electron energy distribution function has been analysed in $SF_6$+Ar mixtures at E/N : 200(Td) for a case of the equilibrium region in the mean electron energy. The measured results and the calculated results have been compared each other.