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몰리브덴 팁 전계 방출 소자의 제조 및 다이아몬드 상 카본의 코팅효과
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  • 몰리브덴 팁 전계 방출 소자의 제조 및 다이아몬드 상 카본의 코팅효과
저자명
주병권,정재훈,김훈,이상조,이윤희,차균현,오명환
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
1998년|11권 7호|pp.508-516 (9 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Mo-tip field emitter arrays(FEAs) were fabricated by conventional Spindt process and their life time characteristics and failure mode were evaluated. The fabricated Mo-tip FEA could generate at least $0.35{mu} A/tip$ emission current for about 320 persistently under a constant gate bias of 140 V and was finally destroyed through self-healing mode. Thin diamond-like carbon films were coated on the M-tip by plasma-enhanced CVD and the dependence of emission properties upon the DLC thickness was investigated. By DLC coating, the turn-on voltage and emission current were appeared to be improved whereas the current fluctuation was increased in the DLC thickness range of $0~1,000{AA}$.