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PLD를 이용한 강유전체(PZT, PST, PT)/YBCO 박막 구조의 제작과 전기적인 특성에 관한 연구
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  • PLD를 이용한 강유전체(PZT, PST, PT)/YBCO 박막 구조의 제작과 전기적인 특성에 관한 연구
저자명
김정환,이재,문병부
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
1998년|11권 7호|pp.541-545 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

(PZT, PST, PT)/ YBCO structured have been grown on single crystal $LaAlO_3$ using in-situ Nb:YAG pulsed laser deposition technique. The optimum conditions of fabrication for high quality films have been established under various oxygen pressure. TBCO was used as a metallic electrode for polarizing ferroelectric thin fillms. Lattice mismatch of these materials were found to be with in 3%. As a result XRD patterns and rocking curves, (PZT, PST, PT)/ YBCO multiayered thin films on $LaAlO_3$ substrates showed preferred orientation to c-axis. For invastigation on electrical properties of ferroelectric thin films, remanent polaiztion $P_r$ and coercive field $E_c$ were measured for three samples. At each optimum condition, they showed the values of P_r=60 mu C/cm^2 and E_c=240kV/ cm for PT, 30mu C/cm^2 and 105kV/cm for PZT, 1.5mu C/cm^2$</TEX> and 15kV/cm for PST. Frequency dependence of dielectric properties of ferroelectric thin fillms was also investigated. As a result, it showed the frequency dependence was relatively small in the range of 10Hz~10kHz.