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스핀스레이법 의한 $Fe{3-X}-Ni_XO_4$ 페라이트 박막의 제작과 그 특성
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  • 스핀스레이법 의한 $Fe{3-X}-Ni_XO_4$ 페라이트 박막의 제작과 그 특성
저자명
김명호,장경욱,부정기
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
1998년|11권 8호|pp.652-657 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We have performed spin-spray ferrite plating of $Fe{_3}{-X}-Ni_XO_4$(X=0.17~0.26) films in the temperature region $T=80~95[^{circ}C]$. A reaction solution and an oxidizing solution were supplied to a reaction chamber by supply pump. The solubility limit of Ni increases as the substrate temperature increase, from X=0.17 at $80[^{circ}C]$ to X=0.26 at $95[^{circ}C]$. All the films are polycrystalline with no preferential orientation, and the magnetization exhibits no definite anisotropy. Grain size in the films increases as X increases, reaching $0.87[mu{m}]$ at X=0.26.