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DIAMOND-LIKE CARBON FILMS FOR ANTIREFLECTION COATINGS OF GERMANIUM INFRATED OPTICAL LENSES
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  • DIAMOND-LIKE CARBON FILMS FOR ANTIREFLECTION COATINGS OF GERMANIUM INFRATED OPTICAL LENSES
  • DIAMOND-LIKE CARBON FILMS FOR ANTIREFLECTION COATINGS OF GERMANIUM INFRATED OPTICAL LENSES
저자명
Kim. Seong-Young,Lee. Sang-Hyun,Lee. Jai-Sung
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
1999년|32권 3호|pp.461-466 (6 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Diamond-like carbon(DLC) films were directly deposited onto germanium(Ge) witness pieces and lenses by a capacitively coupled 13.56 MHz RF glow discharge plasma with $CH_4$ gas. The characterizations of DLC films were measured using a Raman and FTIR spectrometer. The configuration of Raman and FTIR spectra had a traditional shape. The IR transmittance was measured using an IR spectrophotometer. The maximum values of the IR transmission of Ge with the DLC/Ge/DLC, DLC/Ge/BBAR (broad band antireflection), DLC/Ge, and BBAR/Ge structures are 98%, 93%, 64%, and 63.5%, respectively, which come up to the theoretical values. The uniform DLC films were obtained by a rotation of the cathode at certain conditions.