초고주파에서 집적회로용 연결선(interconnect)에 PGS(Patterned Grouned Shield)를 적용하는 실험을 하였다. PGS는 신호선으로부터 비절연 실리콘 기판을 차폐시킴으로써 광대역에 걸쳐 전송선의 실리콘기판을 통한 전력손실을 크게 줄일 수 있음을 측정결과를 통해 보였다. 또한 PGS를 이용한 전송선의 특성을 분석하고 PGS가 전송선의 파장을 줄여주는 효과가 있음을 확인하였다.
The integrated circuit interconnection lines are experimented with patterned ground shields (PGS) at microwave frequencies. Measurement results demonstrate that the PGS can significantly reduce the power loss through the interconnect lines over wide frequency ranges as the PGS shields the lossy silicon substrate. The transmission line characteristics of the PGS interconnect lines are analyzed and identified that the PGS reduces the wave length of the interconnect line.
