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IC 칩 냉각용 초소형 히트 파이프의 제작 및 성능 평가
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  • IC 칩 냉각용 초소형 히트 파이프의 제작 및 성능 평가
저자명
박진성,최장현,조형철,조한상,양상식,유재석
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2001년|50권 7호|pp.351-363 (13 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents an experimental investigation on the heat trensfer characteristic of micro pipe (MHP) array with 38 triangular microgrooves. A heat pipe is an effective heat exchanger operating without external power. The heat pipe transfers heat by means of the latent heat of vaporization and two-phase fluid flow driven by the capillary force. The overall size of the MHP array can be put undermeath a microelectonic die and integrated into the electrronic package of a microelectronin device to dissipate the heat from the die. The MHP array is fabricated by micromachining with a silicon wafer and a glass substrate. The MHP was filled with water and sealed. The experimental results show the temperature decrease of 12.1$^{circ}C$ at the evaporator section for the input power of 5.9 W and the improvement of 28% in the heat transfer rate.