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비등간격 수평감지 전극구조의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계
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저자명
한기호,조영호,Han. Ki-Ho,Cho. Young-Ho
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2001년|50권 7호|pp.346-350 (5 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We present a surface-micromachined polysilicon capacitive accelerometer using unevenly distributed comb electrodes. The unique features of the accelerometer include a perforated proof-mass and the inner and outer comb electrodes with uneven electrode gaps. The perforated proof-mass reduces stiction between the structure and the substrate and the unevenly distributed electrodes shorten the electrode length required for a given sensitivity. The polysilicon accelerometer has been fabricated by the conventional 6-mask surface-micromachining process and showes a sensitivity of 1.03mV/g with a hybrid detection circuitry.