초음파현미경은 대부분 단순히 시료로부터 반사된 신호의 진폭만을 이용하여 초음파영상을 구성하였다. 그러나 이 방법은 미세한 변화를 가지는 시료에 대해서는 반사신호의 진폭변화가 민감하지 않음으로 인하여 영상의 질을 저하 시켰다. 본 연구에서는 초음파 반사신호의 진폭과 위상을 동시에 측정할 수 있는 초음파현미경 시스템을 구성하고 샘플로서 500원 주화와 내부에 원형결함이 존재하는 알루미늄 시료에 대해 진폭영상과 위상영상을 획득하고 이들을 상호 비교분석하였다. 실험결과, 위상영상은 미세한 높이변화에 대해서는 진폭영상에 비하여 민감한 반응을 보였고 콘트라스트가 좋은 영상을 얻을 수 있었다. 이와같은 실험결과로 위상영상은 미세변화를 갖는 시료에 대한 비파괴검사시 진폭영상으로 얻어진 영상의 모호성을 개선하는 보조도구로서 활용이 기대된다.
Most of the acoustic microscopes have been constructed acoustic image by simply measuring the amplitude of the reflected signal from the specimen. This method fails to produce images of good quality because the change in amplitude is not sensitive enough to specimen with fine variation. In this paper, we have been constructed the acoustic microscope system which has been able to measure simultaneously the amplitude and phase of the reflected ultrasonic signal. And also we have been constructed the amplitude and phase images for the 500 won coin as a sample and the alumium spacimen with internal round defect, and compared and analyzed these images. In expermental result, the phase image have shown better sensitive than the amplitude image and given better contrast for the micro height variation of specimen. It will be expected that the phase image can be used as an additional bit of information to improve ambiguituities in amplitude image on nondestructive testing for specimen with fine variation.
