- Mechanisms of $Cl_2$ Molecules Dissociation in a Gas Discharge Plasma in Mixtures with Ar, $O_2.N_2$
- ㆍ 저자명
- Efremov. A.M.,Kwon. Kwang-Ho
- ㆍ 간행물명
- Journal of semiconductor technology and science
- ㆍ 권/호정보
- 2001년|1권 4호|pp.197-201 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전자공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
