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이온질량분석기의 제작과 그 동작특성
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  • 이온질량분석기의 제작과 그 동작특성
저자명
김광훈,최영욱,이홍식,임근희,Kim. Guang-Hoon,Choi. Young-Wook,Lee. Hong-Sik,Rim. Geun-Hie
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2001년|50권 8호|pp.401-408 (8 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The information of the ion composition in plasma applications is required to characterize a plasma. A better understanding of ion species composition ratio and its spacial distribution, etc. is thus necessary in plasma-related processes, such as thin film deposition, plasma-based ion implantation, semiconductor processing, and so on. In this research, a compact ion mass analyzer that is based on magnetic sector analyzer was developed and its operational characteristics were studied in nitrogen plasma.