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패키지된 실리콘-게르마늄 이종접합 바이폴라 트랜지스터의 콜렉터 형성 조건에 따른 전기적 특성
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  • 패키지된 실리콘-게르마늄 이종접합 바이폴라 트랜지스터의 콜렉터 형성 조건에 따른 전기적 특성
저자명
이승윤,이상흥,김홍승,박찬우,김상훈,이자열,심규환,강진영,Lee. Seung-Yun,Lee. Sang-Heung,Kim. Hong-Seung,Park. Chan-U,Kim. Sang-Hun,Lee. Ja-Yeol,Sim. Gyu-
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2002년|12권 6호|pp.470-475 (6 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The effects of the conditions of the collector formation on electrical characteristics of the packaged SiGe hetero-junction bipolar transistors (HBT) were investigated. While the DC characteristics of SiGe HBTs such as IV characteristic, forward current gain, Early voltage, and breakdown voltage were hardly changed after packaging, the AC characteristics such as $f_{ au}; and; f_{max}$ were degraded severely. With the rise of the collector concentration, the break-down voltage decreased but the $f_{ au}$ increased. Additionally, $eta$ and $f_{ au}$ values were kept high in the range of elevated collector current due to the increase of the critical current density for the onset of the Kirk effect. The devices As implanted before the collector deposition showed lower breakdown voltage and higher $f_{ au}$ than the others, which seems to be originated from the As up-diffusion resulting in the thinner collector.