- 산소 플라즈마로 처리한 ITO(Indium-Tin-Oxide)에 대한 일함수 변화
- ㆍ 저자명
- 김근영,오준석,최은하,조광섭,강승언,조재원
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2002년|11권 3호|pp.171-175 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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Indium-Tin-Oxide(ITO)에 대해 산소 플라즈마 처리를 한 후 일함수에 대한 변화를 $gamma$-집속 이온빔을 사용하여 조사하였다. ITO의 표면이 산소 플라즈마 처리를 보다 많이 경험할수록 표면저항이나 일함수는 높아졌다. Auger 전자 분광법을 이용해 표면의 화학적 분석을 해본 결과 산소는 증가한 반면 주석은 감소하였다. 표면 일함수와 표면 저항의 증가는 ITO 표면에서의 산소와 주석의 변화와 관계가 있는 것으로 여겨진다.
The change in work function was studied on Indium-Tin-Oxide(ITO) surface after O-plasma treatment using $gamma$-Focused ion Beam($gamma$-FIB). As the surface of ITO experienced more O-plasma treatment, both the surface resistivity and the work function got higher. Auger Electron Spectroscopy identified the increase of oxygen as well as the decrease of Sn. The rise of work function and surface resistivity is considered to be due to the change in oxygen and Sn on the surface of ITO.