본 논문에서는 ASC(Area Scan Camera)를 이용한 비젼시스템과 belt type xy-table을 사용하여 metal mask의 홀 생성유무 검사시스템을 개발하고, 적용할 수 있는 알고리즘을 소개한다. Metal mask의 전체 영역을 일정한 크기의 검사영역으로 분할한다. 각각의 검사영역의 크기는 ASC의 FOV(Field of View)와 동일하다. 이때 belt type xy-table에서 발생하는 위치오차를 고려하여 일정영역을 중첩하여 분할한다. 검사블록에 대한 카메라이미지는 gerber 파일을 이용하여 생성한 기준이미지와 비교된다. 검사장치에 장착된 metal mask의 회전각도를 계산하기 위하여 존재하는 가장 큰 홀에 대한 카메라이미지를 획득하고, 홀의 수평 에지를 추출한 후 직선의 방정식을 이용한다. Belt type xy-table의 backslash와 같은 기계적 결함에 의해 기준 이미지와 카메라이미지에 존재하는 홀 사이에는 위치오차가 존재한다. 두 이미지를 일치시키기 위해 각 이미지에 존재하는 홀의 무게중심점을 이용한 HT(Hough-Transform)을 사용하여 위치오차정보를 추출하고, 기준이미지의 중심점을 이동시킨다. 각각의 이미지에 존재하는 홀에 대한 무게중심점, 면적, 가로길이, 세로길이 등의 정보를 레이블링을 통하여 구한다. 두 이미지에 존재하는 홀의 무게중심점과 면적을 이용하여 홀의 생성 유무를 판단한다. 그리고 실제로 시스템을 제작하여 위 알고리즘을 적용한다.
We develop an experimental system to inspect a metal mask and, in this paper, introduce its inspection algorithm. This system is composed of an ASC(Area Scan Camera) and a belt type xy-table. The whole area of the metal mask is divided into several inspection blocks. The area of each block is equal to FOV(Field of View). For each block, the camera image is compared to the reference image. The reference image is made by gerber file. The rotation angle of the metal mask is calculated through the linear equation that is substituted two end points of horizontal boundary of a specific hole in a camera image. To calculate the position error caused by the belt type xy-table, HT(Hough-Transform) using distances among the holes in two images is used. The center of the reference image is moved as much as the calculated Position error to be coincided with the camera image. The information of holes in each image, such as centroid, size, width and height, are calculated through labeling. Whether a holes is mado correctly by laser machine or not, is judged by comparing the centroid and the size of hole in each image. Finally, we build the experimental system and apply this algorithm.
