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다단 원판형 드래그펌프의 배기 성능에 관한 실험적 연구
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  • 다단 원판형 드래그펌프의 배기 성능에 관한 실험적 연구
저자명
권명근,허중식,황영규
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
2003년|12권 2호|pp.79-85 (7 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

다단 원판형 드래그펌프의 배기특성을 출구측 압력변화에 따른 입구측의 압력을 측정함으로써 파악하였다. 압력측정범위는 유량이 없을 때 출구측에서 0.13∼533 Pa로 하였다. 펌프 로터의 회전 속도는 24,000rpm이며, 질소가스를 사용하여 유량에 대한 성능실험을 수행하였다. 본 연구에서는 원판의 단의 수에 따른 원판형 드래그 펌프의 성능을 측정하였다. 3단, 2단, 단단형으로 원판형 드래그펌프를 구성하여 성능 실험하였으며, 최대도달진공도, 최대압축비, 배기속도등을 각각 측정하여 상호 성능을 비교·고찰하였다.

기타언어초록

Experimental investigations are performed for the rarefied gas flows in a multi-stage disk-type drag pump. The pump considered in the present study consists of grooved rotors and stators. The flow-meter method is adopted to calculate the pumping speed. Compression ratios and pumping speeds for the nitrogen gas are measured under the outlet pressure range of 0.13∼533 Pa. The present experimental data show the leak-limited value of the compression ratio in the molecular transition region. The rotational speed of the pump is 24,000rpm, and nitrogen is used as a test gas. The pumping characteristics of various drag pumps are performed. The inlet pressures are measured for various outlet pressures of the test pump. The ultimate pressures for zero throughput are measured for three-stage, two-stage and single-stage disk-type, respectively.