- 상용 크라이오펌프의 배기특성 분석
- ㆍ 저자명
- 인상렬,박미영
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|12권 2호|pp.86-92 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
초고진공용으로 시판되고 있는 G-M 냉동기 부착형 크라이오 펌프의 여러 기체에 대한 배기특성을 조사했다. 수소 및 중수소, 헬륨, 알곤, 질소, 일산화탄소의 배기량에 따른 배기속도의 변화를 측정하고 질소의 배기용량을 측정하였으며 그 경향을 이론적으로 분석했다. 또 크라이오펌프로 배기할 때 시스템의 잔류기체 변화에 대해서도 조사했다.
The pumping characteristics of a commercial UHV cryopump with a G-M refrigerator for various gases were investigated. The pumping speeds as a function of pumped amount of $H_2,; D_2,; He,; Ar,; N_2$, CO and the pumping capacity of $N_2$ were measured and the trend was theoretically analyzed. The spectrum change of the residual gas was also investigated during cyropump operation.