- 열확산 효과 개선을 위한 트렌치 구조의 SOI 1X2 열광학 스위치 개발
- ㆍ 저자명
- 박종대,서동수,이기수
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|16권 12호|pp.1255-1260 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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In order to reduce driving power consumption, we propose and fabricate a new structure of asymmetric SOI 1${ imes}$2 thermo-optic switch that has a back side silicon trenched structure. Compared to conventional SOI thermo optic switches without heat sink structure, it shows an improvement of switching power reduction from about 4 watt to 1.8 watt without sacrificing cross talk of about 20 ㏈ at the light wavelength of 1.55 $mu extrm{m}$. Here we also described the main design consideration and fabrication procedure for the proposed device.