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열확산 효과 개선을 위한 트렌치 구조의 SOI 1X2 열광학 스위치 개발
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  • 열확산 효과 개선을 위한 트렌치 구조의 SOI 1X2 열광학 스위치 개발
저자명
박종대,서동수,이기수
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2003년|16권 12호|pp.1255-1260 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In order to reduce driving power consumption, we propose and fabricate a new structure of asymmetric SOI 1${ imes}$2 thermo-optic switch that has a back side silicon trenched structure. Compared to conventional SOI thermo optic switches without heat sink structure, it shows an improvement of switching power reduction from about 4 watt to 1.8 watt without sacrificing cross talk of about 20 ㏈ at the light wavelength of 1.55 $mu extrm{m}$. Here we also described the main design consideration and fabrication procedure for the proposed device.