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플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 탄소나노튜브의 성장 분석 및 전계방출 특성
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  • 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 탄소나노튜브의 성장 분석 및 전계방출 특성
저자명
오정근,주병권,김남수
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2003년|16권 12호|pp.1248-1254 (7 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Carbon nanotubes(CNTs) are grown by using Co catalyst metal. CNTs fabricated by PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition) method are studied in terms of surface reaction and surface structure by TEM and Raman analysing method and ate analysed in its electrical field emission characteristics with variation of space between anode and cathode. Acetylene(C$_2$H$_2$) gas is used as the carbon source, while ammonia and hydrogen gas are used as catalyst and dilution gas. The CNTs grown by hydrogen(H$_2$) gas plasma indicates better vortical alignment, lower temperature process, and longer tip, compared to that grown by ammonia(NH$_3$) gas plasma. The CNTs fabricated with Co(cobalt) catalyst metal and PECVD method show the multiwall structure in mid-circle type in tip-end and the inner vacancy of 10nm. Emission properties of CNTs indicate the turn-on field to be 2.6 V/${mu}{ extrm}{m}$ We suggest that CNTs can be possibly applied to the emitter tip of FEDs and high brightness flat lamp because of low temperature CNTs growth, low turn-on field.