기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
고농도로 탄소 도핑된 높은 밀러 지수 GaAs
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 고농도로 탄소 도핑된 높은 밀러 지수 GaAs
저자명
손창식,Son. Chang-Sik
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2003년|13권 11호|pp.717-720 (4 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

Heavily $p^{ +}$-typed ($10^{20}$ $cm^{-3}$ ) GaAs epilayers have been grown on high-index GaAs substrates with various crystallographic orientations from (100) to (111)A by a low-pressure metalorganic chemical vapor deposition. Carbon (C) tetrabromide (CBr$_4$) was used as a C source. At moderate growth temperatures and high V/III ratios, the hole concentration of C-doped GaAs epilayers shows the crystallographic orientation dependence. The bonding strength of As sites on a growing surface plays an important role in the C incorporation into the high-index GaAs substrates.