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CVD법에 의해 제작된 광촉매 TiO2 〈112〉 우선배향의 특성
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  • CVD법에 의해 제작된 광촉매 TiO2 〈112〉 우선배향의 특성
저자명
강경태,진정근,강필규,노대호,변동진,Kang. Kyoung-tae,Jhin. Jung-geun,Kang. Pil-kyu,Ro. Dae-ho,Byun. Dong-jin
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2003년|13권 7호|pp.436-441 (6 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The characteristics of <112> orientation were studied for the $TiO_2$thin films, which were prepared on the glass by CVD (chemical vapor deposition) at various substrate temperatures. It was confirmed that $TiO_2$ films exhibited <112>-preferred orientation in a specific temperature range. Although $TiO_2$polycrystalline film grown deposited at relatively low temperature showed the growth of random directions, the <112>-preferred orientation was gradually developed with increasing deposition temperature. According to exhibit higher degree of <112>-preferred orientation, $TiO_2$thin film showed porous surface morphology, well-developed columnar structure, and deeper voids resulted from non-aggregation of columns were observed. In addition, transmittance was enhanced. Therefore, the growth of $TiO_2$with <112>-preferred orientation is suitable for glass coating because of predominance of photocatalytic efficiency and transmittance.