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열처리에 따른 SnO2 박막의 표면형상
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  • 열처리에 따른 SnO2 박막의 표면형상
저자명
박경희,류현욱,서용진,이우선,홍광준,박진성,Park. Kyung-Hee,Ryu. Hyun-Wook,Seo. Yong-Jin,Lee. Woo-Sun,Hong. Kwang-Jun,Park. Jin-Seong
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2003년|13권 7호|pp.442-446 (5 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Tin dioxide ($SnO _2$) thin films were deposited at $375^{circ}C$ on alumina substrate by metal-organic chemical vapor deposition. A few hillocks like a cauliflower were observed and the number of hillock on thin film surface increased with annealing temperature in air atmosphere. The oxygen content and the binding energy during air annealing at$ 500^{circ}C$ came to close the stoichiometric $SnO_2$. The cauliflower hillocks seem to be the result of the continuous migration of the tiny grains to release the stress of an expanded grain. Sensitivity of CO gas depended on annealing temperature and increased with increasing annealing temperature.