- Pulsed Magnetron Sputtering Deposit ion of DLC Films Part I : Low-Voltage Bias-Assisted Deposition
- Pulsed Magnetron Sputtering Deposit ion of DLC Films Part I : Low-Voltage Bias-Assisted Deposition
- ㆍ 저자명
- Oskomov. Konstantin V.,Chun. Hui-Gon,You. Yong-Zoo,Lee. Jing-Hyuk,Kim. Kwang-Bok,Cho. Tong-Yul,Sochogov. Nikolay S.,Zakharov. Al
- ㆍ 간행물명
- 한국표면공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|36권 1호|pp.27-33 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국표면공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
