- Extended SBM 공정을 이용하여 단일 실리콘 기판상에 제작된 새로운 z 축 가속도계
- ㆍ 저자명
- 고형호,김종팔,박상준,곽동훈,송태용,조동일,허건수,박장현,Ko. Hyoung-Ho,Kim. Jong-Pal,Park. Sang-Jun,Kwak. Dong-Hun,Song. Tae-Yong,Cho. Dong-Il,Huh. Kun-S
- ㆍ 간행물명
- 센서학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2004년|13권 2호|pp.101-109 (9 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국센서학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
