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Extended SBM 공정을 이용하여 단일 실리콘 기판상에 제작된 새로운 z 축 가속도계
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  • Extended SBM 공정을 이용하여 단일 실리콘 기판상에 제작된 새로운 z 축 가속도계
저자명
고형호,김종팔,박상준,곽동훈,송태용,조동일,허건수,박장현,Ko. Hyoung-Ho,Kim. Jong-Pal,Park. Sang-Jun,Kwak. Dong-Hun,Song. Tae-Yong,Cho. Dong-Il,Huh. Kun-S
간행물명
센서학회지
권/호정보
2004년|13권 2호|pp.101-109 (9 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents a novel z-axis accelerometer with perfectly aligned vertical combs fabricated using the extended sacrificial bulk micromachining (extended SBM) process. The z-axis accelerometer is fabricated using only one (111) SOI wafer and two photo masks without wafer bonding or CMP processes as used by other research efforts that involve vertical combs. In our process, there is no misalignment in lateral gap between the upper and lower comb electrodes, because all critical dimensions including lateral gaps are defined using only one mask. The fabricated accelerometer has the structure thickness of $30{mu}m$, the vertical offset of $12{mu}m$, and lateral gap between electrodes of $4{mu}m$. Torsional springs and asymmetric proof mass produce a vertical displacement when an external z-axis acceleration is applied, and capacitance change due to the vertical displacement of the comb is detected by charge-to-voltage converter. The signal-to-noise ratio of the modulated and demodulated output signal is 80 dB and 76.5 dB, respectively. The noise equivalent input acceleration resolution of the modulated and demodulated output signal is calculated to be $500{mu}g$ and $748{mu}g$. The scale factor and linearity of the accelerometer are measured to be 1.1 mV/g and 1.18% FSO, respectively.