기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
비증발형 게터소자 배기특성 평가시험
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 비증발형 게터소자 배기특성 평가시험
저자명
인상렬,박미영,정기석
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
2004년|13권 2호|pp.47-53 (7 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

국내 진공기술 기반을 구축하는 국가사업의 일환으로 게터펌프 성능평가장치를 개발하고 있다. 본격적으로 장치를 구성하기 전에 평가절차의 개발, 장치 설계요건 및 사양을 확정하기 위해 예비실험장치를 만들었다. 이 장치를 이용하여 밀봉형 기기에 들어가는 비교적 활성화 온도가 낮은 게터 소자들의 특성평가 절차를 만들고 이를 적용하여 수소, 일산화탄소, 질소 등에 대해 배기속도와 배기용량을 측정해 보았다. 주로 고순도 기체 공급장치용으로 국내에서 개발된 게터 소자와 램프용으로 널리 쓰이는 외국제품의 배기성능을 비교해 보았다.

기타언어초록

A getter pump test system is being developed as a core item of the national project for establishing the foundation of the vacuum technology in our country. A preliminary test system was prepared for developing the getter test procedure, and providing design requirements and system specifications before setting up the getter pump test system. The pumping speed and the pumping capacity of getter elements of low activation temperature used in the seal-off vacuum devices, for the hydrogen, carbon monoxide and nitrogen gases, were measured using the preliminary test system. The pumping characteristics of a domestic getter, developed mainly for the gas purifier, were compared with those of a foreign getter used widely in the lamp factories.