- 스테인레스 스틸 고진공용기에 부착된 열음극 전리진공게이지의 주변 온도변화에 따른 압력요동
- ㆍ 저자명
- 홍승수,임인태,신용현,정광화
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2004년|13권 2호|pp.54-58 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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스테인레스 스틸로 가공된 진공용기에 제조회사와 사양이 각각 다른 세 개의 열음극 전리진공게이지를 부착하고 실험실 온도변화에 따른 게이지들의 압력요동 특성을 조사하였다. 상온 근방의 최소 $20 ^{circ}C$와 최대 $26 ^{circ}C$에서의 압력 편차는 각각 IG1은 5.0 %, IG2는 5.3 %, 그리고 IG3는 10.3 %이었다. 그러나 온도 $21.5^{circ}C$에서 $22.5^{circ}C$구간에서의 압력변화는 모두 게이지들의 불확도 보다 작고 안정한 성능을 보였다. 본 연구결과 상온 고진공에서 열음극 전리진공게이지의 압력변화는 게이지 자체의 특성 때문이 아니고 실험실 온도 때문에 변하는 압력변화에 기인한 것임을 알 수 있었다.
Three hot cathode ionization gauges (HCIG) were used to study their responses of pressure measurements at the stainless steel high vacuum (HV) chamber around room temperatures. The pressure variations of HV measured by the three HCIGs between $20 ^{circ}C$ and $26 ^{circ}C$ were 5.0 %, 5.3 %, and 10.3 %, respectively. However, pressure differences between $21.5 ^{circ}C$ and $22.5^{circ}C$ were lower than the gauges uncertainty limits. The pressure variations of the HCIGs at the HV chamber was not directly affected by gauge characteristics, but pressure changes due to room temperatures.