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마이크로파대에서의 강유전 박막 유전 특성 평가
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  • 마이크로파대에서의 강유전 박막 유전 특성 평가
저자명
박정흠,Park. Jeong-Heum
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2004년|17권 10호|pp.1061-1067 (7 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this study, ferroelectric (Ba,Sr)TiO$_3$ and high temperature superconductor YBCO thin films were fabricated by PLD (Pulsed Laser Deposition) method and tuneable bandstop filters were implemented with two different IDC(Interdigital Capacitance) gap patterns, 20${mu}{ extrm}{m}$ and 30${mu}{ extrm}{m}$ using these two thin film layers. The resonant frequency was changed by DC bias voltage. By comparing measured results with simulation, the dielectric properties of ferroelectric thin film have been extracted. The permittivity was 820 ~ 900 at 30 K and had an acceptable error range but the loss tangent had a great difference, 0.018 in 30${mu}{ extrm}{m}$ IDC gap pattern and 0.037 in 20 ${mu}{ extrm}{m}$.