기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
(100) SrTi $O_3$ 단결정 기판위에 단일 액상 원료 MOCVD 법에 의한 YB $a_2$C $u_3$ $O_{7-x}$ 박막 제조
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • (100) SrTi $O_3$ 단결정 기판위에 단일 액상 원료 MOCVD 법에 의한 YB $a_2$C $u_3$ $O_{7-x}$ 박막 제조
저자명
전병혁,최준규,김호진,김찬중,Jun. Byung-Hyuk,Choi. Jun-Kyu,Kim. Ho-Jin,Kim. Chan-Joong
간행물명
한국초전도·저온공학회논문지
권/호정보
2004년|6권 3호|pp.16-20 (5 pages)
발행정보
한국초전도저온공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

YB $a_2$C $u_3$$O_{7-x}$ (YBCO) films were deposited on (100) SrTi $O_3$ single crystal substrates by a metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) system of hot-wall type using single liquid source. Under the condition of the mole ratio of Y(tmhd)$_3$:Ba(tmhd)$_2$:Cu(tmhd)$_2$= 1:2.1:2.9. the deposition pressure of 10 Torr. the MO source line speed of 15 cm/min. the Ar/ $O_2$ flow rate of 800/800 sccm. YBCO films were prepared at the deposition temperatures of 780∼89$0^{circ}C$. In case of the YBCO films with 2.2 ${mu}{ extrm}{m}$ thickness deposited for 6 minutes at 86$0^{circ}C$. XRD pattern showed complete c-axis growth and SEM morphology showed dense and crack-free surface. The atomic ratios of Ba/Y and Cu/Ba in the film were 1.92 and 1.56. respectively. The deposition rate of the film was as high as 0.37 ${mu}{ extrm}{m}$/min. The critical temperature ( $T_{c.zero}$) of the film was 87K. The critical current of the film was 104 A/cm-width. and the critical current density was 0.47 MA/$ extrm{cm}^2$. For the thinner film of 1.3 ${mu}{ extrm}{m}$ thickness. the critical current density of 0.62 MA/$ extrm{cm}^2$ was obtained.d.