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펨토초 레이저를 이용한 미세 패터닝 기술
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  • 펨토초 레이저를 이용한 미세 패터닝 기술
  • Periodic patterning using a femtosecond laser
저자명
손익부,이만섭,우정식,이상만,정정용,Sohn. Ik-Bu,Lee. Man-Seop,Woo. Jung-Sik,Lee. Sang-Man,Chung. Jeong-Yong
간행물명
한국레이저가공학회지
권/호정보
2005년|8권 1호|pp.39-44 (6 pages)
발행정보
한국레이저가공학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We report experimental results on the periodic patterning using a Ti:sapphire femtosecond laser (800nm, 100fs, 1kHz). Periodic structures with reproducible basic patterns are produced both on the surface and inside transparent materials. Period patterning for the application to display panel is widely investigated. Also, the submicron dot and line patterns are fabricated inside fused silica glass, which is important for the formation of diffraction grating in integrated optical circuit. finally, we demonstrate the utility of the femtosecond laser application to optical memory by fabricating the three-dimensional dot patterns.