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Pulsed Laser Deposition에 의해 SrRuO3/SrTiO3 기판위에 여러 가지 증착온도에서 증착된 Pb(Zr0.2Ti0.8)O3 박막의 특성
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  • Pulsed Laser Deposition에 의해 SrRuO3/SrTiO3 기판위에 여러 가지 증착온도에서 증착된 Pb(Zr0.2Ti0.8)O3 박막의 특성
저자명
이우성,정관호,김도훈,김시원,김형준,박종령,송영필,윤희근,이세민,최인혁,윤순길,Lee. Woo-Sung,Jung. Gwan-Ho,Kim. Do-Hun,Kim. Si-Won,Kim. Hyeong-Jun,Park. Jong-Ryong
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2005년|18권 9호|pp.810-814 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

[ $Pb(Zr_{0.2}Ti_{0.8})O_3/SrRuO_3$ ] heteroepitaxial thin films were deposited at various temperatures on single crystal $SrTiO_3$ substrates by pulsed laser deposition and characterized for the microstructural and ferroelectric properties. The $SrTiO_3$ substartes etched by buffered oxide etch $(pH{ hickapprox}5.8)$ solution for 20s followed by the thermal annealing at $1000^{circ}C$ for 1h showed the terrace ledges with a 0.4nm height. The $SrRuO_3$ bottom electrodes with a thickness of 52nm grown on $SrTiO_3$ single crystal also exhibit a terrace ledge similar to that of $SrTiO_3$. The PZT thin films were grown with an epitaxial relationship and showed typical P-E hysteresis loops shown at the epitaxial films. The 56nm thick-PZT films deposited at $650^{circ}C$ exhibit a remanent polarization $(p_r)$ of $80{mu}C/cm^2$ and a coercive field $(E_c)$ of 160kV/cm.