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수위, 온도, 전도도 측정을 위한 다기능 One-Chip 센서의 제조
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  • 수위, 온도, 전도도 측정을 위한 다기능 One-Chip 센서의 제조
저자명
송낙천,조용수,최시영,Song. Nak-Chun,Cho. Yong-Soo,Choi. Sie-Young
간행물명
센서학회지
권/호정보
2006년|15권 1호|pp.7-12 (6 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The multi-functional one-chip sensor has been fabricated to reduce output variation under various water environment. There were a temperature sensor, a piezoresistive type pressure sensor, and a electrode type conductivity sensor in the fabricated one-chip sensor. This sensor was measured water depth in the range of $0{sim}180cm$, temperature in the range of $0{sim}50^{circ}C$, and salinity in the range of 0 $0wt%{sim}5wt%$, respectively. Since the change of water depth in solution environment depends on various factors such as salinity, latitude, temperature, and atmospheric pressure, the water depth sensor is needed to be compensated. We tried to compensate the salinity and temperature dependence for the pressure in water by using lookup-table method.